第四百一十三章：性能优异的碳基光刻胶
‘碳基紫外光引发剂’的核心成分光敏引发剂的制造过程相当复杂，哪怕其中一大半以上的步骤可以通过智能程序进行控制，其制备失败的概率也不低。
即便是韩元，也折腾了两天的时间，经历了三次不同时期的失败，才将光敏引发剂的两种合成材料制备出来并合成出来完整的增感剂。
制备出来的增感剂整体无色透明，宛如蜂蜜一样粘稠。
这些光敏引发剂装在用聚酯材料构成的棕色瓶中, 保存在温度控制在十度的漆黑冰箱中。
之所以不用玻璃容器装，是因为成型后的光敏引发剂会和硅进行反应。
而存储环境避光，原理也一样。
从‘光敏引发剂’这个名字就能知道，这种材料对于光照的敏感度相当高，接触光照会引发材料的性质变化。
所以合成出来后，一直到使用前，整体都必须要避光保存。
包括使用‘光敏引发剂’合成的‘碳基紫外光引发剂’, 也就是碳基芯片光刻胶，都得在避光环境下保存。
被取出来后，碳基光刻胶会逐渐因为接受到了光照、接触了外界基底等因素而失效，时间大概是一个小时左右。
当然，如果仅仅是保存的话，通过避光、真空等手段，这种碳基光刻胶还是可以保存相当长的一段时间的。
像韩元这种使用棕色的聚酯瓶避光非真空保存，可以保存大概两年的时间。
如果保存手段更严谨一点，保存的时间可以增加至三年左右。
这已经足够了。
.......
花费了一周的时间，从溶剂组到增感剂到感光树脂，韩元将其一一合成了出来，并组装成了最终可用于石墨烯单晶晶圆上的光刻胶。
成型的光刻胶整体半透明，带着微微乳白色，透光度相当高。
韩元保存好大部分的光刻胶后，取了一小部分做了个实验。
之前制备完成切割好的石墨烯单晶晶圆取出来一小片，其中一半的面积涂抹上光刻胶，另一半则保持原样。
处理好后的石墨烯单晶晶圆通过紫外光源进行照射，时间为期三十秒。
三十秒的照射时间过后，韩元将其取出, 通过特殊溶液清洗掉上面覆盖的碳基光刻胶，然后浸入显影溶液中。
虽然浸泡在溶液中的石墨烯晶圆肉眼看不出什么变化，但当韩元用镊子夹住晶圆在显影溶液中轻轻晃荡的时候，就可以看到显影溶液的颜色变化了。
那是被显影溶液侵蚀掉并冲走了的石墨烯材料导致的。
.......
将石墨烯晶圆从显影溶液中取出，清晰掉上面残留的液体，透过观察设备，可以清晰的看到这一块石墨烯晶圆表面已经有了相当大的变化。
没有被碳基光刻胶覆盖的区域已经被显影溶液侵蚀的差不多了，而覆盖了光刻胶的另一半则并没有什么太明显的变化。
这就是负性光刻胶的功劳了。
它覆盖在石墨烯单晶晶圆表面后，通过紫外光照，可以在短时间内迅速变态，改变覆盖区域的石墨烯结构，增强其对显影溶液的抗性，让其变得不容易被侵蚀。
而没有覆盖光刻胶的地方，就会被侵蚀掉，形成与遮光物的形状相反的样子。
也就是形成掩膜版相反的模样。
这就是芯片通过光刻机雕刻的最主要原理，也是光刻胶在芯片制造过程中异常重要，甚至堪比光刻机的主要原因。
检查了一下被显影液侵蚀的石墨烯单晶晶圆，得到各种信息数据后，韩元也是露出了个灿烂的笑容。
制备出来的碳基光刻胶效果相当不错, 被覆盖的区域经过紫外光源的照射后几乎完整的保留了下来。
而且这还只是普通能级的紫外光源就有这个效果, 如果是碳基芯片光刻机中使用的极紫外光，那效果会更好。
毕竟普通紫外光的波长和能级都无法与极紫外光相比。
.......
处理完碳基芯片使用的光刻胶，第三年的时间已经过去了八十天左右。
这是大致的时间，具体过去了多少天韩元没有算，毕竟总是一個人在模拟空间里面，算时间也没什么用。
就在这天，小七的声音从韩元手腕上携带的通讯器上传递了出来。
“主人，小八小九发现了一些异常的东西，有一定的概率和那些巨型昆虫有关。”
小七的声音从通讯器中传出来，引起了韩元的好奇也引起了直播间里面观众的好奇。
“什么情况？”
韩元有些诧异的询问道，难怪最近一段时间看不到小八小九，原来是跑出去了。
不过小七的话让他有些讶异。
自从上次他潜入水中找到那些巨型昆虫的母虫并处理掉后，有关巨型昆虫的事情就基本告一段落了。
在能覆盖全球的通讯侦查卫星的配合下，再加上小七本身强大的计算能力和智能，那些巨型昆虫包括母虫都已经被清理的差不多了，怎么现在又冒出来了？
韩元感觉这玩意有点阴魂不散。
“并不是活着的巨型昆虫，更像是一个石制的雕塑。”
小七的声音从通讯器中传递而来，再度引起了韩元的好奇。
“雕塑？”
韩元挑了挑眉，道：“在哪？卫星有没有拍到画面，有的话将视频和图片先传递过来我看看。”
“好的，主人。”
小七应了声，然后便沉寂了下去。
韩元没在意，转身来到了化学实验室中的显示屏旁边等待着。
过了一分多钟的样子，小七的声音再次响起。
“相关图片和视频信息已经传递给您了，主人，具体保存位置如下：/一号存储磁盘/九十号文件夹/......”
“嗯，好，我先看看。”
韩元应了声，操控着特制的输入键盘打开了小七传递信息的文件夹。
通过侦查卫星拍摄到的图片和视频存储在里面，打开一张图片，呈现在显示屏上的，是一只体型巨大的昆虫
看到图片，韩元眼神一凝，差点以为那些巨型昆虫又一次出现了。
但随即，他敏锐的差距图片里面的巨型昆虫和他以前见过的有些不同。
随着图片的打开，与此同时，直播间里面也哗然起来。
【什么鬼，这些虫子又出来了。】
【阴魂不散啊。】
【咦，我怎么感觉这只巨虫是死的样子？】
谷肈
【是石雕吧？之前那个智能管家小七就说过了，并不是虫子，而是和虫子有关的石雕。】
【应该是石雕，你们注意看，小八小九都还在上面，要是活的，估计早就被吃了。】
【虫子石雕，这是谁雕刻出来的？别告诉我是那些虫子？打死我都不信那些虫子还有雕刻艺术。】
【主播要不要过去看一下到底是什么情况？反正你有飞行器。】
.......
直播间内讨论不断，有些弹幕引起了韩元的注意，他心中一动，朝着小七询问。
“小七，这个石雕具体位置在哪里？离我有多远？”
很快，小七的声音就通过通讯器传递过来了。
“石雕的位置在东经87.47973、北纬42.898552，按照主人您标注的地理位置信息来划分，在一个名为塔克拉玛干沙漠的沙漠里面。”
听到小七的回答，韩元愣了一下，重新看向图片。
他刚刚忽略掉了这个石雕存在周边的环境，注意力全击中在石雕上了，现在看去，石雕周边的确没有植被，到处都是各种形状尖锐碎石。
虽然并不是沙漠的景象，但符合戈壁滩的样貌。
“要不要过去看看？”
韩元盯着显示屏上的石雕思索着。
这个石雕的出现也让他很好奇，之前从来都没有想过还会有这样的东西出现。
如果距离近的话，驾驶勒落三角飞行器飞行器过去一趟倒也无所谓，反正很快。
但现在这个石雕出现的地方远在华国的塔克拉玛干沙漠里面，处于这颗模拟星球的另一面，这距离，就着实有点远了。
即便是有勒落三角飞行器，飞过去也要十来个小时，路程再加上探索调查的时间，少说也要两三天。
这让他有点犹豫。
盯着图片，皱着眉，正当韩元要否决掉过去一趟的想法是，显示屏上播放的连贯视频中的某一画面引起了他的注意。
暂停、回调，韩元盯着画面上泛着一丝金属光感的石雕迅速做出了决定。
过去！
.......
做出了决定，韩元迅速起身，停放在河边充当电能供应设备的勒落三角飞行器迅速起飞。
经历了七个多小时的飞行，在小七的指引下，飞行器降落在一片茫茫无际的荒漠中。
韩元背负上各种工具和设备从飞行器上下来，迅速来到小八小九发现的那块巨型石雕面前。
这个巨型昆虫一般的石雕相当大，横着侧躺在荒漠中都比韩元还要高，有一小半埋葬在土里面。
韩元走上前，观察了一下后从背后取出一个鹤嘴小铁镐，尖锐的鹤嘴部分在石雕上轻轻的敲击了一下。
“铛~”
一道清脆的金属敲击声从碰撞点传了出来，听得直播间里面的观众口瞪目呆的。
【金属声？】
【不是石头，是金属？】
【什么情况？】
【金属石雕？我更好奇了，这到底是个什么情况。】
【从声音来听，这个石雕里面是中空的。】
【？？？？？】
【谁会在荒漠里雕一座金属昆虫像？】
........
对于石雕发出了清脆的金属声，直播间里面的观众很是好奇，就连蹲守在直播间里面的各国官方人员亦是一样，纷纷推测着这座金属昆虫雕像的来源。
听到泛着空心的金属声后，韩元顿时了然，初步确认了心中的推测。
为了确认推测，韩元手持金属镐沿着巨型雕像多次敲击，确认了整座雕像都是中空的。
手中的鹤嘴镐放下，韩元绕行到这座雕像的头部，双手抓住雕塑的凸起部分，一用力，直接将这座金属雕塑从土中拔了出来。
这一举动，吓了直播间里面观众一大跳。
一座目测直径超过两米，长度超过五米的巨型雕塑，居然就这样被拔出来了？
哪怕是空心的，其重量也不是一个人能拔的动的吧？
不说直播间里面的观众，其实就连韩元自己都被吓了一跳。
在动手之前，他都做好了要挖才能将这座雕像弄出来的准备，毕竟这东西很大，估计也很重。
但韩元没想到的是，上手后，才发现这东西轻的让人难以想象，原本铆足了劲想要拔将其拔出来的他被带的直接一个趔趄才稳住。
将金属雕像放到地上，韩元绕着转了一群，在雕像尾部发现了一个大洞。
好奇的往里面看了一下，整座雕像只有相当薄的一层材料支撑着，里面中空，黑漆漆的，像是居住过什么东西。
韩元带上防护手套，沿着洞口边缘摸了一下，一层细密的沙土带着一股腥臭的气味粘在手套上。
这股气味，和之前发现的那些巨型昆虫不能说很像，简直是一抹一样。
可见这个雕塑里面居住过巨型昆虫。
再结合雕像的体型远比一般巨型昆虫要大，答案相当简单，这里面以前居住过巨型昆虫的母虫。
或许，这个雕像，就是巨型昆虫的‘飞船’。
.......
一直以来，韩元心里都有一个疑惑。
小九曾经说过那些巨型昆虫来源于外星，但它们怎么穿越宇宙和大气层来到地球的，这个可能只有早已离去的那个前任宿主知道。
但现在，他也找到了一丝线索。
那就是眼前的这座巨型金属雕像。
他通过随身携带的酒精喷灯对面前的这座雕像灼烧后发现，这一层厚度只有不到两厘米的金属外壳具有极其优秀的隔热能力。
酒精喷灯在外面烧了十来分钟，喷灯加热的地方，里层的温度没有一点变化。
虽然还没有对其进行完全的检测，但光是表现出来的超级优秀的隔热性能就足以让人惊叹了。
酒精喷灯的温度能达到一千度左右，虽然比不上穿越大气层是剧烈摩擦形成的高温，但能有这种表现，让韩元很是讶异，更加好奇这种‘金属’般的材料能做到一个什么样的地步。
...........
即便是韩元，也折腾了两天的时间，经历了三次不同时期的失败，才将光敏引发剂的两种合成材料制备出来并合成出来完整的增感剂。
制备出来的增感剂整体无色透明，宛如蜂蜜一样粘稠。
这些光敏引发剂装在用聚酯材料构成的棕色瓶中, 保存在温度控制在十度的漆黑冰箱中。
之所以不用玻璃容器装，是因为成型后的光敏引发剂会和硅进行反应。
而存储环境避光，原理也一样。
从‘光敏引发剂’这个名字就能知道，这种材料对于光照的敏感度相当高，接触光照会引发材料的性质变化。
所以合成出来后，一直到使用前，整体都必须要避光保存。
包括使用‘光敏引发剂’合成的‘碳基紫外光引发剂’, 也就是碳基芯片光刻胶，都得在避光环境下保存。
被取出来后，碳基光刻胶会逐渐因为接受到了光照、接触了外界基底等因素而失效，时间大概是一个小时左右。
当然，如果仅仅是保存的话，通过避光、真空等手段，这种碳基光刻胶还是可以保存相当长的一段时间的。
像韩元这种使用棕色的聚酯瓶避光非真空保存，可以保存大概两年的时间。
如果保存手段更严谨一点，保存的时间可以增加至三年左右。
这已经足够了。
.......
花费了一周的时间，从溶剂组到增感剂到感光树脂，韩元将其一一合成了出来，并组装成了最终可用于石墨烯单晶晶圆上的光刻胶。
成型的光刻胶整体半透明，带着微微乳白色，透光度相当高。
韩元保存好大部分的光刻胶后，取了一小部分做了个实验。
之前制备完成切割好的石墨烯单晶晶圆取出来一小片，其中一半的面积涂抹上光刻胶，另一半则保持原样。
处理好后的石墨烯单晶晶圆通过紫外光源进行照射，时间为期三十秒。
三十秒的照射时间过后，韩元将其取出, 通过特殊溶液清洗掉上面覆盖的碳基光刻胶，然后浸入显影溶液中。
虽然浸泡在溶液中的石墨烯晶圆肉眼看不出什么变化，但当韩元用镊子夹住晶圆在显影溶液中轻轻晃荡的时候，就可以看到显影溶液的颜色变化了。
那是被显影溶液侵蚀掉并冲走了的石墨烯材料导致的。
.......
将石墨烯晶圆从显影溶液中取出，清晰掉上面残留的液体，透过观察设备，可以清晰的看到这一块石墨烯晶圆表面已经有了相当大的变化。
没有被碳基光刻胶覆盖的区域已经被显影溶液侵蚀的差不多了，而覆盖了光刻胶的另一半则并没有什么太明显的变化。
这就是负性光刻胶的功劳了。
它覆盖在石墨烯单晶晶圆表面后，通过紫外光照，可以在短时间内迅速变态，改变覆盖区域的石墨烯结构，增强其对显影溶液的抗性，让其变得不容易被侵蚀。
而没有覆盖光刻胶的地方，就会被侵蚀掉，形成与遮光物的形状相反的样子。
也就是形成掩膜版相反的模样。
这就是芯片通过光刻机雕刻的最主要原理，也是光刻胶在芯片制造过程中异常重要，甚至堪比光刻机的主要原因。
检查了一下被显影液侵蚀的石墨烯单晶晶圆，得到各种信息数据后，韩元也是露出了个灿烂的笑容。
制备出来的碳基光刻胶效果相当不错, 被覆盖的区域经过紫外光源的照射后几乎完整的保留了下来。
而且这还只是普通能级的紫外光源就有这个效果, 如果是碳基芯片光刻机中使用的极紫外光，那效果会更好。
毕竟普通紫外光的波长和能级都无法与极紫外光相比。
.......
处理完碳基芯片使用的光刻胶，第三年的时间已经过去了八十天左右。
这是大致的时间，具体过去了多少天韩元没有算，毕竟总是一個人在模拟空间里面，算时间也没什么用。
就在这天，小七的声音从韩元手腕上携带的通讯器上传递了出来。
“主人，小八小九发现了一些异常的东西，有一定的概率和那些巨型昆虫有关。”
小七的声音从通讯器中传出来，引起了韩元的好奇也引起了直播间里面观众的好奇。
“什么情况？”
韩元有些诧异的询问道，难怪最近一段时间看不到小八小九，原来是跑出去了。
不过小七的话让他有些讶异。
自从上次他潜入水中找到那些巨型昆虫的母虫并处理掉后，有关巨型昆虫的事情就基本告一段落了。
在能覆盖全球的通讯侦查卫星的配合下，再加上小七本身强大的计算能力和智能，那些巨型昆虫包括母虫都已经被清理的差不多了，怎么现在又冒出来了？
韩元感觉这玩意有点阴魂不散。
“并不是活着的巨型昆虫，更像是一个石制的雕塑。”
小七的声音从通讯器中传递而来，再度引起了韩元的好奇。
“雕塑？”
韩元挑了挑眉，道：“在哪？卫星有没有拍到画面，有的话将视频和图片先传递过来我看看。”
“好的，主人。”
小七应了声，然后便沉寂了下去。
韩元没在意，转身来到了化学实验室中的显示屏旁边等待着。
过了一分多钟的样子，小七的声音再次响起。
“相关图片和视频信息已经传递给您了，主人，具体保存位置如下：/一号存储磁盘/九十号文件夹/......”
“嗯，好，我先看看。”
韩元应了声，操控着特制的输入键盘打开了小七传递信息的文件夹。
通过侦查卫星拍摄到的图片和视频存储在里面，打开一张图片，呈现在显示屏上的，是一只体型巨大的昆虫
看到图片，韩元眼神一凝，差点以为那些巨型昆虫又一次出现了。
但随即，他敏锐的差距图片里面的巨型昆虫和他以前见过的有些不同。
随着图片的打开，与此同时，直播间里面也哗然起来。
【什么鬼，这些虫子又出来了。】
【阴魂不散啊。】
【咦，我怎么感觉这只巨虫是死的样子？】
谷肈
【是石雕吧？之前那个智能管家小七就说过了，并不是虫子，而是和虫子有关的石雕。】
【应该是石雕，你们注意看，小八小九都还在上面，要是活的，估计早就被吃了。】
【虫子石雕，这是谁雕刻出来的？别告诉我是那些虫子？打死我都不信那些虫子还有雕刻艺术。】
【主播要不要过去看一下到底是什么情况？反正你有飞行器。】
.......
直播间内讨论不断，有些弹幕引起了韩元的注意，他心中一动，朝着小七询问。
“小七，这个石雕具体位置在哪里？离我有多远？”
很快，小七的声音就通过通讯器传递过来了。
“石雕的位置在东经87.47973、北纬42.898552，按照主人您标注的地理位置信息来划分，在一个名为塔克拉玛干沙漠的沙漠里面。”
听到小七的回答，韩元愣了一下，重新看向图片。
他刚刚忽略掉了这个石雕存在周边的环境，注意力全击中在石雕上了，现在看去，石雕周边的确没有植被，到处都是各种形状尖锐碎石。
虽然并不是沙漠的景象，但符合戈壁滩的样貌。
“要不要过去看看？”
韩元盯着显示屏上的石雕思索着。
这个石雕的出现也让他很好奇，之前从来都没有想过还会有这样的东西出现。
如果距离近的话，驾驶勒落三角飞行器飞行器过去一趟倒也无所谓，反正很快。
但现在这个石雕出现的地方远在华国的塔克拉玛干沙漠里面，处于这颗模拟星球的另一面，这距离，就着实有点远了。
即便是有勒落三角飞行器，飞过去也要十来个小时，路程再加上探索调查的时间，少说也要两三天。
这让他有点犹豫。
盯着图片，皱着眉，正当韩元要否决掉过去一趟的想法是，显示屏上播放的连贯视频中的某一画面引起了他的注意。
暂停、回调，韩元盯着画面上泛着一丝金属光感的石雕迅速做出了决定。
过去！
.......
做出了决定，韩元迅速起身，停放在河边充当电能供应设备的勒落三角飞行器迅速起飞。
经历了七个多小时的飞行，在小七的指引下，飞行器降落在一片茫茫无际的荒漠中。
韩元背负上各种工具和设备从飞行器上下来，迅速来到小八小九发现的那块巨型石雕面前。
这个巨型昆虫一般的石雕相当大，横着侧躺在荒漠中都比韩元还要高，有一小半埋葬在土里面。
韩元走上前，观察了一下后从背后取出一个鹤嘴小铁镐，尖锐的鹤嘴部分在石雕上轻轻的敲击了一下。
“铛~”
一道清脆的金属敲击声从碰撞点传了出来，听得直播间里面的观众口瞪目呆的。
【金属声？】
【不是石头，是金属？】
【什么情况？】
【金属石雕？我更好奇了，这到底是个什么情况。】
【从声音来听，这个石雕里面是中空的。】
【？？？？？】
【谁会在荒漠里雕一座金属昆虫像？】
........
对于石雕发出了清脆的金属声，直播间里面的观众很是好奇，就连蹲守在直播间里面的各国官方人员亦是一样，纷纷推测着这座金属昆虫雕像的来源。
听到泛着空心的金属声后，韩元顿时了然，初步确认了心中的推测。
为了确认推测，韩元手持金属镐沿着巨型雕像多次敲击，确认了整座雕像都是中空的。
手中的鹤嘴镐放下，韩元绕行到这座雕像的头部，双手抓住雕塑的凸起部分，一用力，直接将这座金属雕塑从土中拔了出来。
这一举动，吓了直播间里面观众一大跳。
一座目测直径超过两米，长度超过五米的巨型雕塑，居然就这样被拔出来了？
哪怕是空心的，其重量也不是一个人能拔的动的吧？
不说直播间里面的观众，其实就连韩元自己都被吓了一跳。
在动手之前，他都做好了要挖才能将这座雕像弄出来的准备，毕竟这东西很大，估计也很重。
但韩元没想到的是，上手后，才发现这东西轻的让人难以想象，原本铆足了劲想要拔将其拔出来的他被带的直接一个趔趄才稳住。
将金属雕像放到地上，韩元绕着转了一群，在雕像尾部发现了一个大洞。
好奇的往里面看了一下，整座雕像只有相当薄的一层材料支撑着，里面中空，黑漆漆的，像是居住过什么东西。
韩元带上防护手套，沿着洞口边缘摸了一下，一层细密的沙土带着一股腥臭的气味粘在手套上。
这股气味，和之前发现的那些巨型昆虫不能说很像，简直是一抹一样。
可见这个雕塑里面居住过巨型昆虫。
再结合雕像的体型远比一般巨型昆虫要大，答案相当简单，这里面以前居住过巨型昆虫的母虫。
或许，这个雕像，就是巨型昆虫的‘飞船’。
.......
一直以来，韩元心里都有一个疑惑。
小九曾经说过那些巨型昆虫来源于外星，但它们怎么穿越宇宙和大气层来到地球的，这个可能只有早已离去的那个前任宿主知道。
但现在，他也找到了一丝线索。
那就是眼前的这座巨型金属雕像。
他通过随身携带的酒精喷灯对面前的这座雕像灼烧后发现，这一层厚度只有不到两厘米的金属外壳具有极其优秀的隔热能力。
酒精喷灯在外面烧了十来分钟，喷灯加热的地方，里层的温度没有一点变化。
虽然还没有对其进行完全的检测，但光是表现出来的超级优秀的隔热性能就足以让人惊叹了。
酒精喷灯的温度能达到一千度左右，虽然比不上穿越大气层是剧烈摩擦形成的高温，但能有这种表现，让韩元很是讶异，更加好奇这种‘金属’般的材料能做到一个什么样的地步。
...........