华兴集团公司六年多前就开始涉足光刻机，何玉光和席海清数位专家在杨杰的带领下一开始是进行仿造和组装，随后是几乎孤注一掷地研发浸没式步进扫描投影光刻机，随着华兴集团公司在超精密机制造技术、光学技术上和其他方面的全面进步，瑞星科技公司在氟化氩准分子光源的浸没式步进扫描投影光刻机上面终于是技术成熟了。
瑞星科技公司在双工件台浸没式步进扫描光刻机研发过程中是申请了大量的技术专利。
这些技术专利就包括了瑞星科技公司的独家悬浮工件台系统，使得系统能克服摩擦系数和阻尼系数，加工速度和精度
《重生之大学霸》777章 无计可施！ 正在手打中，请稍等片刻，
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